德國新型光敏玻璃將在日本亮相

德國特種玻璃廠商肖特（SCHOTT）將在日本市場推出光敏玻璃“FOTURANII”，該產品可在紫外線照射下結晶化，可用做半導體及生物技術領域的玻璃基板。

在紫外線照射下，玻璃本身會發生變質，再經過熱處理就會結晶化（陶瓷化），成為光敏玻璃。無需使用光刻膠，只用氫氟酸即可僅蝕刻結晶化的部分。肖特新產品的特點是，玻璃部與陶瓷部的蝕刻選擇比高達30：1，容易加工。

使用光刻膠蝕刻普通玻璃時，蝕刻會向各向同性發展，因此很難實現高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結晶化的部分，從原理上來說沒有深寬比限制，因此能夠實現20～30μm的微細圖案加工。

曝光時推薦使用波長320nm的紫外線，可使用“UV300”曝光裝置。雖然使用紫外線雷射器時掃描耗費時間，但不需要掩模。而且，利用鐳射的焦點，還可實現玻璃基板內部的隧道結構（橫孔）等複雜的立體結構，而使用以往蝕刻技術時必須要層疊玻璃才能實現。實際上，目前已有客戶瞄準微流體展開製造，因此有望成為無需掩模即可製造少量生產的MEMS等的手段。

新產品在晶圓狀時能夠以最大300mm（12英寸）的尺寸供應，在片狀時能以最大200mm見方的尺寸供應。

除此之外，肖特還在日本展出用於創意家電等的光敏玻璃（玻璃陶瓷），以及已開始在智慧手機指紋感測器蓋板中採用的超薄板玻璃等產品。